從世紀開始人們對潔凈技術已有初步的探索，隨著對產品的微型化、高精密度、高純度及可靠性等各方面的要求的提高，對空氣潔凈度的要求也隨之提高，而且生產技術越發(fā)展對潔凈度的要求就越高，空氣潔凈技術及其所需的過濾器也相應誕生并迅速發(fā)展。

  1950年，美國制成了高效能空氣粒子過濾器，取得了空氣凈化技術的首次飛躍，是潔凈技術發(fā)展史中的第一座里程碑，實現(xiàn)了以0.5m粒徑的塵粒數(shù)為計數(shù)標準來衡量空氣潔凈度。

  1961年，美國圣地亞公司在總結了 年代的常規(guī)方式潔凈室的氣流組織存在的一些問題后，研制出美國的第一個單向流潔凈室 (當時稱為層流潔凈室)，這是空氣潔凈技術的重大突破，這一成果成為空氣潔凈技術發(fā)展史上的第二個里程碑。

  為加速美國宇航工業(yè)的發(fā)展，美國相應加速了制訂有關污染控制標準的工作，1962年美國頒布了潔凈室第一個軍用部分的聯(lián)邦標準(美國國家標準)，從此聯(lián)邦標準即成為國際上最通行、最著名的潔凈室標準。這種狀態(tài)一直延續(xù)到國際標準化組織成立有關潔凈室的技術委員會，規(guī)范了潔凈室與相關受控環(huán)境，1999年該委員會出臺第一個關于潔凈室的標準(空氣潔凈度分極)。

  70年代是潔凈技術及潔凈室應用的普及時期，各國相繼制定了工業(yè)潔凈室空氣凈化工程指標。
 

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